ИССЛЕДОВАНИЕ РЕЖИМОВ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК НАНО- И ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ

14 сентября 2018
118
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации ВЕЛИЧКО Р.В., ГУСЕВ Е.Ю., ГАМАЛЕЕВ В.А., МИХНО А.С., БЫЧКОВА А.С.
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=18318817

Аннотация

Представлены результаты экспериментальных исследований режимов плазмохимического осаждения пленок кремния. Выявлен ряд параметров, влияющих на фазу, значение размера кристаллов и среднеквадратическое значение шероховатости полученных пленок. Установлены режимы, обеспечивающие получение пленок нано- и поликристаллического кремния с размером кристаллов 40–100 и 100–250 нм и среднеквадратическим значением шероховатости 1,4–3,5 и 1,1–2,6 нм соответственно. Методами дифракции быстрых электронов на отражение и эллипсометрии установлено, что с увеличением температуры структура полученных пленок претерпевает переход от аморфной фазы к нанокристаллической при температуре около 540 °С и поликристаллической при 610 °С. Микроскопические исследования показали, что размер кристаллов и СКЗ шероховатости поверхности увеличивается с температурой и давлением в камере. Отмечается наличие максимума на температурной зависимости СКЗ шероховатости при 600 °С. Влияние мощности разряда на размер кристаллов было незначительным и требует дальнейшего уточнения.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.