Установка плазменного нанесения нитрида и оксида кремния Vision 310 (Advanced Vacuum)
14 сентября 2018
426
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Санкт-Петербург |
| Страна производства | Швеция |
| Год производства | 2008 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
PECVD осаждение низконапряженных пленок диоксида и нитрида кремния, оксинитридов, карбида кремния и аморфного кремния и формирования конструктивных изолирующих слоев в нано- и микроразмерных композициях микро- и наносистемной техники
| Наименование | Страна производства | Условия использования | Расположение |
|---|---|---|---|
| Сильноточный линейный ускоритель ионов водорода Ядерно-физическая установка | РФ | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Установка плазмохимического газофазного роста алмазных пленок | Япония | Аренда, Заказ исследования | Пермь |
| Магнитная Индукционно-Разрядная установка с ускоряющим напряжением 100кВ МИР-100 | РФ | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Установка индукционного нагрева мощностью 10 кВт, частотой 66 кГц | РФ | Аренда, Заказ исследования | Санкт-Петербург |
| Экспериментальная установка на ядерном реакторе на быстрых нейтронах ВВР-М | РФ | Аренда, Заказ исследования | Санкт-Петербург |
| Установка нагрева ТВЧ (высокочастотный индукционный нагреватель LH-30 KW-B) | РФ | Аренда, Заказ исследования | Оренбург |
| Генератор плазменного излучения "ФОРСАЖ-160АД" | РФ | Аренда, Заказ исследования | Смоленск |
| Установка для финишного плазменного упрочнения УФПУ-114 | РФ | Аренда, Заказ исследования | Воронеж |