Система для управления пучком и прецизионной засветки фоторезиста на поверхности полупроводниковых подложек для растрового электронного микроскопа XeDraw 2 (Xenos)
14 сентября 2018
491
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Германия |
| Год производства | 2012 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 500 тыс. до 1 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 6 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | Согласно утвержденному порядку предоставления услуг пользователям научного оборудования. |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Управление пучком и прецизионная засветка фоторезиста на поверхности полупроводниковых подложек для растрового электронного микроскопа.