Лазерный генератор изображения Heidelberg DWL 66
14 сентября 2018
447
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Белорусь (РБ) |
| Год производства | 2007 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
| Стоимость предоставления услуг | от 50 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | Согласно утвержденному порядку предоставления услуг пользователям научного оборудования. |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
предназначен для задач НИОКР, мелкой серии, опытное производство. Формирования топологических структур на металлизированных фотошаблонах при производстве интегральных схем, гибридных интегральных схем, а также для формирования структур на пластине, при производстве МЭМС, БиоМЭМС, интегрированной оптики и др.
Для обеспечения высокоточного перемещения лазерного луча генератор оборудован специальной оптической системой и системой позиционирования подложки. Во время экспонирования положение координатного столика контролируется с помощью интерферометрической системы высокого разрешения.
Для обеспечения наилучшей разрешающей способности генератор оборудован системой автофокусировки.
Для обеспечения высокоточного перемещения лазерного луча генератор оборудован специальной оптической системой и системой позиционирования подложки. Во время экспонирования положение координатного столика контролируется с помощью интерферометрической системы высокого разрешения.
Для обеспечения наилучшей разрешающей способности генератор оборудован системой автофокусировки.