Модуль осаждения из газовой фазы ПХО100
14 сентября 2018
440
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Якутия, Якутск |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2013 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 300 руб. |
| Регламент предоставления услуги | http://s-vfu.ru/universitet/rukovodstvo-i-struktura/vspomogatelnye-podrazdeleniya/aic/news/Предоставление услуг лабораториями в режиме коллективного пользования.pdf |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
• Получение диэлектрических слоев для нужд планарной электроники (SiO2, Si3N4, Al2O3, SiNO) методом плазмохимического осаждения из газовой фазы.
• Дополнительные возможности:
• Получение углеродсодержащих слоев;
• Атомно-слоевое осаждение монокристаллических, поликристаллических и аморфных слоев;
• Сухое травление и очистка поверхности широкого спектра материалов, используемых в микро- и наноэлектронике;
• Селективное травление материалов через заблаговременно сформированную маску (за исключением технологии скоростного глубокого анизотропного травления) с целью создания заданного технологического рисунка;
• Операция термической диффузии (например, для легирования созданных слоев)
• Дополнительные возможности:
• Получение углеродсодержащих слоев;
• Атомно-слоевое осаждение монокристаллических, поликристаллических и аморфных слоев;
• Сухое травление и очистка поверхности широкого спектра материалов, используемых в микро- и наноэлектронике;
• Селективное травление материалов через заблаговременно сформированную маску (за исключением технологии скоростного глубокого анизотропного травления) с целью создания заданного технологического рисунка;
• Операция термической диффузии (например, для легирования созданных слоев)
| Наименование | Страна производства | Условия использования | Расположение |
|---|---|---|---|
| Модуль к маршрутизатору CISCO | Китай | Аренда, Заказ исследования | Оренбург |
| Хонинговальный модуль | РФ | Аренда, Заказ исследования | Пермь |
| Модуль аналогового ввода ADAM (26) | Тайвань | Аренда, Заказ исследования | Санкт-Петербург |
| Модуль для создания ускорения 50g в комплекте с 2-х координатным актюатором | Великобритания | Аренда, Заказ исследования | Санкт-Петербург |
| Модуль измерительно-управляющий системы для автономных моделей | РФ | Аренда, Заказ исследования | Санкт-Петербург |
| Модуль вывода управляющий МВУ8-У, 2-05 | РФ | Аренда, Заказ исследования | Кострома |
| Модуль аналогового ввода | РФ | Аренда, Заказ исследования | Санкт-Петербург |
| Модуль измерительно-управляющий системы для буксировочных моделей | РФ | Аренда, Заказ исследования | Санкт-Петербург |
| Модуль стробоскопический SE №135581 | США | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Модуль МДВВ-Р, 3-08 | РФ | Аренда, Заказ исследования | Кострома |