Высоковакуумный ионно-плазменный комплекс для нанесения и обработки тонкопленочных структур “Аврора”
14 сентября 2018
400
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Нижегородская область, Нижний Новгород |
| Страна производства | США |
| Год производства | 2010 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 5 000 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | Хоздоговор |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Высоковакуумная установка магнетронного и реактивно-магнетронного напыления однослойных и многослойных тонкопленочных структур (диэлектрических и металлических пленок, включая антиферромагнитные, ферромагнитные, сверхпроводящие, а также магниторезистивные, спинвентильные и др.). Плазмо-химическое травление тонкопленочных структур и подложек (включая Si) в средах различных газов.