Ионно-лучевые установки ИЛУ-3, ИЛУ-200
14 сентября 2018
506
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Нижегородская область, Нижний Новгород |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 1998 |
| Предоставляемое количество | 2 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 50 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | Договор на выполнение НИР, участие в совместных НИОКР, инициативные работы, направленные на создание научно-технического задела |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Оборудование предназначено для модификации приповерхностных свойств твердых тел и тонких пленок – для легирования полупроводников, ионно-лучевого синтеза захороненных сплошных слоев и наноструктур, инженерии дефектов, а также формирования приборных слоев и структур микро-, нано- и оптоэлектроники
| Наименование | Страна производства | Условия использования | Расположение |
|---|---|---|---|
| Измерительно-калибровочная система Alpha‐Step D‐200 (KLA-Tencor) | США | Аренда, Заказ исследования | Воронеж |
| Измеритель шероховатости TR-200 (Time Group) | Китай | Аренда, Заказ исследования | Комсомольск-на-Амуре |
| Рабочий модуль установки магнетронного напыления с замкнутым полем с монтажом и наладкой | РФ | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Установка ионно-плазменного напыления УИПН | РФ | Аренда, Заказ исследования | Калининград |