Сверхвысоковакуумная автоматизированная опытная установка импульсного лазерного осаждения (ИЛО) тонкопленочных слоев (разработка лаборатории НИЯУ МИФИ)
14 сентября 2018
619
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2012 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 120 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Синтез и исследование новых материалов и структур для приложений в наноэлектронике и спинтронике.
Требования к образцам и инфраструктуре. Размер образцов: до 15×20 мм; 3-х фазное питание 380 В; круглосуточная откачка ионным насосом для поддержания вакуума; оборотная вода для охлаждения лазера.
Методы. Импульсное лазерное осаждение.
Область применения.
Получаемые образцы. В течение последних 7 лет изготовлено более 1000 образцов покрытий, в частности: Fe-Al, Fe54/Fe57/c-Si, FexCo1-xSi2, FexMn1-xSi2; Ni-Si, Ta-Si, Fe-Si, Co-Si; HfO2,
ZrO2, Yb2O3, Al2O3, TiO2; HfxSi1-xO2, HfxAl1-xO2, Ni-Si/HfO2/c-Si, Ni-Si/Sb/HfO2/c-Si, Ni/Ge/HfO2/c-Si; SiO2/NC-Au/SiO2/c-Si; Ge2Sb2Te5/TiO2/Si, Ge2-xSn119xSb2Te5/TiO2/Si; Fe/MgO/Fe, Fe/Fe3O4, Fe3Si/SiO2, BaTiO3, FeTiO3.
Требования к образцам и инфраструктуре. Размер образцов: до 15×20 мм; 3-х фазное питание 380 В; круглосуточная откачка ионным насосом для поддержания вакуума; оборотная вода для охлаждения лазера.
Методы. Импульсное лазерное осаждение.
Область применения.
Получаемые образцы. В течение последних 7 лет изготовлено более 1000 образцов покрытий, в частности: Fe-Al, Fe54/Fe57/c-Si, FexCo1-xSi2, FexMn1-xSi2; Ni-Si, Ta-Si, Fe-Si, Co-Si; HfO2,
ZrO2, Yb2O3, Al2O3, TiO2; HfxSi1-xO2, HfxAl1-xO2, Ni-Si/HfO2/c-Si, Ni-Si/Sb/HfO2/c-Si, Ni/Ge/HfO2/c-Si; SiO2/NC-Au/SiO2/c-Si; Ge2Sb2Te5/TiO2/Si, Ge2-xSn119xSb2Te5/TiO2/Si; Fe/MgO/Fe, Fe/Fe3O4, Fe3Si/SiO2, BaTiO3, FeTiO3.