Печь РЕО-604 LPCVD с предустановленным РЕО-604-SW ПО на базе WINDOWS 98/NT/2000/XP
14 сентября 2018
356
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Ростовская область, Ростов-на-Дону |
| Страна производства | Великобритания |
| Год производства | 2009 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | Услуги предоставляются в рамках договорных отношений |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначена для групповой обработки пластин для полупроводниковой промышленности. Применяется для осаждения химических паров (LPCVD, MOCVD) поликристаллического кремния, Si3N4, эпитаксии, LTO, термического (сухого и мокрого) окисления SiO2, диффузии, процессов TEOS, POCl3, TCA, выращивания графитовых нанотрубок, осаждения молекулярных слоёв, термического отжига. Работает в воздушной среде, вакууме, азоте и водороде. Наиболее часто используется для отверждение полиимида, получения сплавов SiAu, SiAl, SiMo, прокаливание диэлектриков, пластин после ионной имплантации, нанесение контактов на пластины в среде азота / паров уксусной кислоты, металлизация без флюса, вжигание толстых плёнок, спекание стекла.
| Наименование | Страна производства | Условия использования | Расположение |
|---|---|---|---|
| Высокопроизводительный автоматический синтезатор ДНК/РНК модели ASM-2000 | США | Аренда, Заказ исследования | Пермь |
| Комплекс модуля синхронизации с источником тока на базе твердооксидных топливных элементов | Германия | Аренда, Заказ исследования | Пермь |