Растровый электронный микроскоп JSM 6510LV-EDS с рентгеновским энергодисперсионным спектрометром и литографической приставкой NanoMaker Full (JEOL Ltd.)
14 сентября 2018
319
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Тюменская область, Тюмень |
| Страна производства | Япония |
| Год производства | 2011 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
| Стоимость предоставления услуг | от 20 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначен для изучения топологии поверхности металлов, полупроводниковых, керамических и органических структур и их элементного и фазового состава. Литографическая приставка NanoMaker Full (Россия, Interface.Ltd, 2012) к этому микроскопу позволяет изготавливать маски для плазмохимического травления интегральных микросхем с разрешением не хуже 20 нм.