Оже-спектрометр PHI 700

Является новейшей, высокоэффективной системой предназначенной для анализа и предоставления информации об элементном составе поверхности образца, субмикронных элементах, тонких пленках и интерфейсах. Электронная оптика прибора на полевой эмиссии обладает пространственным разрешением менее 8 нм, что позволяет в короткие сроки получать изображения высокого разрешения субмикронных элементов во вторичных электронах и выбрать область анализа. Оже-спектрометр способен определить любые элементы в приповерхностных слоях образца, кроме H и He. Наличие ионной пушки дает возможность предварительной очистки образцов, исследования непроводящих поверхностей и профилирования по глубине. PHI 700 позволяет проводить элементный анализ сложных образцов, таких, как: • полупроводниковые устройства: поверхностные дефекты или частицы, загрязнения, тонкие пленки и анализ отказов; • металлы: покрытия, композиты, анализ границ зерен (включая разлом в вакууме), коррозия и другие дефекты.