Многофункциональный комплекс плазмохимической обработки для создания сложных структур и устройств на их основе PlasmaLab
14 сентября 2018
412
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Новосибирская область, Новосибирск |
| Страна производства | Великобритания |
| Год производства | 2012 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
| Стоимость предоставления услуг | от 47 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Модуль индуктивно-связанной плазмы позволяет выращивать пленки и проводить плазмохимическое травление различных материалов, включая диэлектрики, металлы и полупроводники.