Лазерный литограф uPG501, Heildelberg Instruments
14 сентября 2018
310
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Ставропольский край, Ставрополь |
| Страна производства | Германия |
| Год производства | 2012 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Лазерный литограф предназначен для проведения безмасочной экспозиции пленок фоторезиста. Обладает высокой точностью и скоростью экспозиции и позволяет работать с фоторезистами различных типов: позитивными, негативными, а также УФ-фоторезистами. Поскольку доза засветки не ограничена, подходит для работы с толстыми слоями фоторезиста. Встроенная система нацеливания позволяет проводить многослойную литографию.