Установка молекулярного наслаивания TFS-200
14 сентября 2018
374
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Ставропольский край, Ставрополь |
| Страна производства | Финляндия |
| Год производства | 2012 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Установка предназначена для реализации процессов термического и плазменно-стимулированного атомно-слоевого осаждения диэлектриков на пластинах 50-200 мм.
Технические характеристики:
1) Температура подложки: 25 - 500 °C;
2) Тип и размеры реакционной камеры: одна подложка: ø200 × 3 (mm).
3) Режимы работы ALD и PE ALD.
Технические характеристики:
1) Температура подложки: 25 - 500 °C;
2) Тип и размеры реакционной камеры: одна подложка: ø200 × 3 (mm).
3) Режимы работы ALD и PE ALD.
| Наименование | Страна производства | Условия использования | Расположение |
|---|---|---|---|
| Установка термоионного испарения для получения алмазоподобного углерода | РФ | Аренда, Заказ исследования | Йошкар-Ола |
| Проточно-циркуляционная каталитическая установка Bl-CATrEXP | РФ | Аренда, Заказ исследования | Екатеринбург |
| Хроматографическая установка для разделения белков и нуклеиновых кислот BioLogic LP | США | Аренда, Заказ исследования | Тула |
| Установка магнетронного распыления | РФ | Аренда, Заказ исследования | Ставрополь |
| установка для высокоэффективной жидкостной хроматографии насос - 305 Спектрофотометрический детектор 119 UV/VIS (Gilson) | США | Аренда, Заказ исследования | Санкт-Петербург |
| Установка для определения реологических свойств асфальтобетона | РФ | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Жидкостной хроматограф Perkin Elmer серии 200, сопряженный c масс-спектрометром Agilent IonTrap | США | Аренда, Заказ исследования | Москва |