Электронный микроскоп с системой электронной литографии Nova NanoLab 600
14 сентября 2018
327
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Ростовская область, Ростов-на-Дону |
| Страна производства | Нидерланды |
| Год производства | 2007 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
| Стоимость предоставления услуг | от 40 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначен для исследования внутреннего строения объектов на микро- и наноуровнях, создания трехмерных изображений образцов. Совместное использование фокусированных электронного и ионного пучков позволяет совмещать операции модификации подложек с выполнением анализа и контроля параметров технологического процесса. В состав Nova 600 входят: электроннолучевая колонна, оснащенная катодом с полевой эмиссией, ускоряющее напряжение от 200В до 30кВ, разрешение 1,1 нм при 15 кВ; ионная колонна Magnum с галлиевым жидкометаллическим источником ионов, ускоряющее напряжение от 5 кВ до 30 кВ, разрешение 7 нм; 4-х канальная газовая инжекционная система; система энергодисперсного рентгеновского микроанализа EDAX GENESIS 6000i; система электронно-лучевой литографии Raith DELPHY 6 MHZ. Система оснащена 5-ти осевым программно-управляемым моторизованным предметным столиком (150х150х10 мм), позиционирующим образец с высокой точностью