Сканирующий зондовый микроскоп и нано-твердометр Нано Скан 3D (ТИСНУМ)

Оборудование предназначено для проведения исследований на субмикронном уровне механических свойств, модуля упругости и структуры многофазных материалов сверхтвердых материалов. Обеспечивает контактный динамический режим сканирования с применением пьезорезонансного зонда с высокой изгибной жесткостью консоли, получение изображения профиля поверхности и карты модуля упругости с использованием датчиков обратной связи. Максимальный размер области сканирования 100х100х10 мкм, разрешение при сканировании 0,15 нм (ось Z) и 1,5 нм (по осям X и Y). Измеряет модуль упругости в диапазоне значений 1 – 1000 ГПА, рабочая частота 10 кГц, размер области упругого контакта зонда ~ 100 нм, разрешение по значению привнесенной контактной жесткости – 0,1 Н/м. Измеряет твердость методом склерометрии в диапазоне значений от 0,5 до 80 ГПа, минимальный размер царапины по глубине/ширине 1 нм/30 нм. Режим работы пошаговый и микропозиционирования.