Сканирующий нанотвердомер "Наноскан-3D" (ТИСНУМ)

Реализуемые методики: 1. Контактный динамический режим сканирования (профиль поверхности карта модуля упругости/тангенс потерь). Шаг сканирования: 0.15 нм по вертикали, 1.50 нм по горизонтали. 2. Индентирование и царапание с заданной нагрузкой/на заданную глубину. Максимальная нагрузка до 150 мН. 3. Измерение твердости методом склерометрии до 80 ГПа. 4. Измерение механических свойств методом инструментального наноиндентирования (в соответствии с ISO 14577). 5. Измерение модуля упругости методом силовой спектроскопии в диапазоне значений до 1000 ГПа. 6. Измерение механических свойств тонких пленок (твердость, адгезия, толщина) методом склерометрии с переменной нагрузкой.