Научно-исследовательский нанотехнологический комплекс "Riber SSC2" на основе сверхвысоко-вакуумного центра для исследования поверхности
14 сентября 2018
594
Классификация оборудования | |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
Страна производства | Франция |
Год производства | 2009 |
Предоставляемое количество | 1 |
Условия использования | |
Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Стоимость предоставления услуг | от 60 000 руб. |
Регламент предоставления услуги | — |
Объект коллективного пользования | Нет |
Наличие аккредитации | Нет |
Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Комплекс позволяет последовательно исследовать образец различными физическими методами, производить технологические обработки, снова исследовать образец и т.д. При этом образец никогда не покидает условий СВВ. Исследования методом ДБОЭ могут проводиться во время технологических процессов (in situ). Поскольку образец не покидает условий СВВ, его исследования методом СТМ до и после обработок проводятся с атомным разрешением. Качество СТМ столь высоко, что атомное разрешение реализуется как на гладкой поверхности образца (например, на чистой поверхности монокристаллического Si или Ge), так и при исследовании объектов с высокой шероховатостью, таких как массивы квантовых точек или нанокристаллические пленки кремния или силицидов металлов.