Установка серии "Кристалл 503" для группового бестигельного выращивания кристаллов с пъедестала
14 сентября 2018
956
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Санкт-Петербург |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2015 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 25 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Установка предназначена для одновременного выращивания 7-9 прутков-подложек кремния, диаметром 4-7 мм и длиной более 2500 мм, с пъедестала - исходного кристалла диаметром 90 мм. Процесс проводится в вакууме при остаточном давлении 5·10-5 мм рт. ст. или в газе. Бестигельное выращивание кристаллов с пъедестала - это совмещение метода бестигельной зонной плавки и метода Чохральского вытягивания кристалла из расплава. В этом способе вместо тигля используется заготовка-пьедестал, например, слиток большого диаметра. Зона расплава создается и поддерживается нагревом торца слитка специальным кольцевым индуктором. Вытягивание кристалла производится вверх с поверхности зоны расплава.