Ионно-лучевая установка для повышения стойкости режущего и штампового инструмента, деталей машин и механизмов (ИФПМ)

Предназначена для повышения эксплуатационных свойств режущего и штампового инструмента, деталей машин и механизмов методом ионно-лучевой обработки (ИЛО) в вакууме. Установка представляет собой высоковакуумное устройство с дискретной загрузкой изделий в вакуумную камеру и их последующей обработкой высокоэнергетическими ионами газо-металлической плазмы. Газо-металлическая плазма генерируется в источнике ионов с разрядом Пеннинга и последующим распылением многокомпонентной мишени. Система питания разряда устроена таким образом, что при постоянном питающем напряжении вспомогательного и основного разрядов ускоренный пучок газо-металлических ионов имеет упорядоченные управляемые пульсации, в результате которых энергия ионов повышается до двух раз. Применение такой системы питания позволило снизить энергетические затраты на ускорение ионов, повысить эффективность и производительность ионной имплантации металлических конструкционных материалов, а также материалов, у которых на поверхности в процессе ионно-лучевой обработки формируется диэлектрическая поверхность. К таким материалам относятся твердые сплавы и инструментальная керамика.