Установка проекционной литографии ASML PAS 5500/300C для технологии 300нм
14 сентября 2018
573
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Нидерланды |
| Год производства | 2012 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
| Стоимость предоставления услуг | от 50 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Позволяет проводить процесс контактного совмещения и экспонирования (существует возможность двухстороннего совмещения) кремниевых пластин диаметром до 150мм. Минимальный размер формируемого элемента топологии на кремниевой пластине - 600 нм.