Установка плазмо-химического осаждения диэлектриков SI 500 PPD (SENTECH Instruments)
14 сентября 2018
528
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Германия |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Предназначена для плазмо-химического осаждения диэлектриков с вакуумным загрузочным шлюзом: PECVD осаждение SiO2, Si3N4, SiOx, SiNy, SiOxNy, a-Si