Система высоковакуумного магнетронного напыления плёнок "Оратория 5" (ПО Кварц)
14 сентября 2018
382
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Красноярский край, Красноярск |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2010 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 25 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначена для получения тонких металлических магнитных пленок и структур. После проведенной реконструкции она содержит четыре магнетрона с мишенями. Откачка напылительной камеры осуществляется диффузионным масляным насосом со скоростью 1000 литров в секунду. Откачка камеры загрузки осуществляется пластинчато-роторным масляным насосом со скоростью 18 литров в секунду.
В комплект установки входят три генератора постоянного тока мощностью по 500 Вт и генератор высокой частоты мощностью 1 кВт. Предельный вакуум системы 5x10-7 мм. рт. столба.
В комплект установки входят три генератора постоянного тока мощностью по 500 Вт и генератор высокой частоты мощностью 1 кВт. Предельный вакуум системы 5x10-7 мм. рт. столба.