Нанотехнологический комплекс "НАНОФАБ NTK-4М" (НТ-МДТ)

- определение морфологии поверхности, линейных размеров, фазового контраста различных материалов, включая тонкие пленки, покрытия, микро- и нанодисперсные материалы, нанокомпозиты, объемные аморфные и кристаллические материалы, методами сканирующей ионной и зондовой микроскопией;- определение неоднородности химического состава, толщин, пористости, дефектности слоев, степени кристалличности, поверхностной и межслойной шероховатости многослойных;- комплексные исследования методами фокусированного ионного пучка и атомно-силовой микроскопии химического состава поверхности материала, топографии, распределения электрических, магнитных и других свойств полимерных композиционных и полупроводниковых материалов, тонких пленок, поверхностных слоев и покрытий;- осаждение тонких пленок, поверхностных слоев и покрытий методом импульсного лазерного осаждения;- формирование объемных структур на поверхности материалов методом фокусированного ионного пучка, в т.ч. для создания дифракционных оптических элементов.- нанесение упрочняющих покрытий и многослойных структур различного функционального назначения, в т.ч. барьерных, износостойких, высокой твердости, проводящих и диэлектрических покрытий;- нанесение наноразмерных покрытий и различных слоев методом импульсной лазерной абляции.