Вакуумная установка MSS-3G-2 (Torr Internation) для получения тонких пленок и наноструктур методом магнетронного распыления
14 сентября 2018
438
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Нижегородская область, Нижний Новгород |
| Страна производства | США |
| Год производства | 2013 |
| Предоставляемое количество | 2 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 9 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначенна для синтеза тонкопленочных наноструктурированных материалов и структур оптоэлектроники. Получаемые материалы: тонкие пленки GeO2, SiO2, ZrO2, серебра и меди. Вакуум 10-7 мм.рт.ст. Рабочая частота 13,36 Мгц
Мощность RF-распыления 600Вт. Мощность DC-распыления 600Вт.
Мощность RF-распыления 600Вт. Мощность DC-распыления 600Вт.
