Интерференционный профилометр Maxim-GP 200 (Zygo Corporation)

Предназначен для трёхмерного анализа геометрической структуры поверхности различных объектов, изготовленных из разного материала: металла, керамики, стекла и т.д.. Он создаёт графические изображения и проводит их цифровой анализ с целью получения высокоточных данных о структуре поверхности исследуемого объекта. На основе данных об относительной высоте микроскоп позволяет определять:параметры шероховатости поверхности, нормируемые в отечественных и международных стандартах;радиус кривизны поверхности, в том числе радиус сферы;относительную высоту.Проведенные экспериментальные исследования модернизированных интерференционных микроскопов на наборе мер нанометрового диапазона показали, что они обеспечивают измерения параметров шероховатости и рельефа с неопределенностью λ/800 мкм.