Электронный просвечивающий микроскоп VION PLASMA FOCUSED ION BEAM (FEI)
14 сентября 2018
272
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | США |
| Год производства | 2014 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 25 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Является инструментом, способным проводить очень точную резку и травление с высокой скоростью. Он обладает возможностью избирательно травить нужные области образца. Кроме того, микроскоп может выборочно наносить структуры проводников и изоляторов.
Совместно используя высокоскоростное травление и точный контроль, система может использоваться для изготовления интегральных схем в различных областях, например, для анализа повреждений при столкновениях, разрывах проводов связи, для анализа дефектов в плотноупакованных структурах MEMS-устройств.
Совместно используя высокоскоростное травление и точный контроль, система может использоваться для изготовления интегральных схем в различных областях, например, для анализа повреждений при столкновениях, разрывах проводов связи, для анализа дефектов в плотноупакованных структурах MEMS-устройств.