Автоэмиссионный растровый электронный микроскоп с системой электронной литографии Supra 50VP (Carl Zeiss)

Позволяет выполнять многоплановые исследования по созданию и диагностике наноструктур с применением методов сканирующей электронной микроскопии и электронной литографии. Микроскоп оснащен комплектом аналитических модулей (детекторов и программное обеспечение), с помощью которых можно получать разнообразную качественную и количественную информацию об исследуемых объектах: получение изображений объектов без предварительной подготовки (в том числе и непроводящих - возможность использования режимов низкого вакуума (VP) и их комбинаций с работой на низких ускоряющих) во вторичных и отраженных электронах с пространственным разрешением до 1,5 нм; морфометрический анализ субмикронных и нанометровых неоднородностей и частиц; микроанализ элементного состава объектов, включая измерение толщины и состава тонких пленок, с использованием энергодисперсионного рентгеновского спектрометра; сверхстабильный ток пучка — 0,2% в час / до 20 нА, обеспечивает высочайшее качество результатов рентгеновского и дифракционного анализов;анализ спиновой поляризации вторичных электронов и получение изображений поверхности материалов с магнитным контрастом; диагностика полупроводниковых структур с применением методов катодолюминесцентных измерений и т. п.