Установка плазмохимического осаждения Plasmalab system 100 PECVD (Oxford instruments)
14 сентября 2018
400
Классификация оборудования | |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Санкт-Петербург |
Страна производства | Великобритания |
Год производства | 2006 |
Предоставляемое количество | 1 |
Условия использования | |
Стоимостная группа | от 10 млн руб |
Стоимость предоставления услуг | от 25 000 руб. |
Регламент предоставления услуги | — |
Объект коллективного пользования | Нет |
Наличие аккредитации | Нет |
Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначена для плазмо-химического осаждения диэлектрических и полупроводниковых слоев (SiO2, Si3N4, a-Si:H, a-SiC:H). Установка имеет шесть газовых магистралей, позволяющих варьировать газовую смесь в рабочей камере. Частота ВЧ генератора 13,56 МГц. Нагрев подложек до температуры 400°С. Установка снабжена загрузочным шлюзом.
Наименование | Страна производства | Условия использования | Расположение |
---|---|---|---|
Экспериментальная установка на ядерном реакторе на быстрых нейтронах ВВР-М | РФ | Аренда, Заказ исследования | Санкт-Петербург |
Установка нагрева ТВЧ (высокочастотный индукционный нагреватель LH-30 KW-B) | РФ | Аренда, Заказ исследования | Оренбург |
Установка индукционного нагрева мощностью 10 кВт, частотой 66 кГц | РФ | Аренда, Заказ исследования | Санкт-Петербург |
Сильноточный линейный ускоритель ионов водорода Ядерно-физическая установка | РФ | Аренда, Заказ исследования | Москва |
Установка для финишного плазменного упрочнения УФПУ-114 | РФ | Аренда, Заказ исследования | Воронеж |
Источник переменного напряжения с интерфейсом управления 3000Lx (California Instruments) | США | Продажа | Нижнекамск |
Магнитная Индукционно-Разрядная установка с ускоряющим напряжением 100кВ МИР-100 | РФ | Аренда, Заказ исследования | Москва |
Установка плазмохимического газофазного роста алмазных пленок | Япония | Аренда, Заказ исследования | Пермь |