Установка плазмохимического осаждения Plasmalab system 100 PECVD (Oxford instruments)
14 сентября 2018
629
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Санкт-Петербург |
| Страна производства | Великобритания |
| Год производства | 2006 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
| Стоимость предоставления услуг | от 25 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначена для плазмо-химического осаждения диэлектрических и полупроводниковых слоев (SiO2, Si3N4, a-Si:H, a-SiC:H). Установка имеет шесть газовых магистралей, позволяющих варьировать газовую смесь в рабочей камере. Частота ВЧ генератора 13,56 МГц. Нагрев подложек до температуры 400°С. Установка снабжена загрузочным шлюзом.
| Наименование | Страна производства | Условия использования | Расположение |
|---|---|---|---|
| Сильноточный линейный ускоритель ионов водорода Ядерно-физическая установка | РФ | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Установка для финишного плазменного упрочнения УФПУ-114 | РФ | Аренда, Заказ исследования | Воронеж |
| Установка индукционного нагрева мощностью 10 кВт, частотой 66 кГц | РФ | Аренда, Заказ исследования | Санкт-Петербург |
| Экспериментальная установка на ядерном реакторе на быстрых нейтронах ВВР-М | РФ | Аренда, Заказ исследования | Санкт-Петербург |
| Установка нагрева ТВЧ (высокочастотный индукционный нагреватель LH-30 KW-B) | РФ | Аренда, Заказ исследования | Оренбург |
| Источник переменного напряжения с интерфейсом управления 3000Lx (California Instruments) | США | Продажа | Нижнекамск |
| Магнитная Индукционно-Разрядная установка с ускоряющим напряжением 100кВ МИР-100 | РФ | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Установка плазмохимического газофазного роста алмазных пленок | Япония | Аренда, Заказ исследования | Пермь |