Сканирующий ионный гелиевый микроскоп ORION Plus (Carl Zeiss)

Обеспечивает большую глубину резкости, что, в сочетании с высоким разрешением, позволяет получить высокое качество изображения. Большая масса ионов по сравнению с электронами существенно уменьшает влияние дифракции и увеличивает сечение рассеяния на атомах исследуемого материала, благодаря чему увеличивается контраст по атомному номеру, как в режиме регистрации вторичных электронов, так и при регистрации обратно-рассеянных ионов. Другой особенностью ионного сканирующего микроскопа является малый ток пучка, на три порядка меньший, чем типичный ток пучка электронного микроскопа. Это позволяет избежать негативных последствий, связанных с изменениями, происходящими в образце под действием пучка и уменьшить влияние зарядки поверхности не проводящих образцов. Кроме того, предусмотрена система компенсации заряда поверхности электронным пучком, которая позволяет работать с диэлектриками, практически без потери качества изображения.