Высоковакуумная установка SMART NanoTool MBE/PLD SYSTEM (SVTA)

Предназначена для нанесения методом лазерной абляции тонких пленок на подложки размером до 2″. Установка поддерживает работу либо с одной подложкой размером 2″, либо с несколькими подложками меньшего размера. Вакуумная камера из нержавеющей стали с электрополированной поверхностью оснащена фронтальной дверью, которая обеспечивает удобный доступ и значительно упрощает процесс замены подложки и мишени. Камера снабжена несколькими портами: окна наблюдения за мишенью и подложкой, а также порты для встраиваемого диагностического оборудования. Легко заменяемые ИК-лампы обеспечивают нагрев до 950°C в кислороде при давлении до 400 Торр с использованием термической пасты. Нагреватель покрыт медными щитами с водяным охлаждением, которые минимизируют нагрев стенок камеры. Вакуумная система оснащена ручными клапанами и всеми необходимыми датчиками давления. Система поставляется вместе с ноутбуком для управления всеми функциями установки Nano PLD, а также эксимерным лазером.