Высоковакуумная установка SMART NanoTool MBE/PLD SYSTEM (SVTA)
14 сентября 2018
397
Классификация оборудования | |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Иркутская область, Иркутск |
Страна производства | США |
Год производства | 2014 |
Предоставляемое количество | 1 |
Условия использования | |
Стоимостная группа | от 10 млн руб |
Стоимость предоставления услуг | от 25 000 руб. |
Регламент предоставления услуги | — |
Объект коллективного пользования | Нет |
Наличие аккредитации | Нет |
Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначена для нанесения методом лазерной абляции тонких пленок на подложки размером до 2″. Установка поддерживает работу либо с одной подложкой размером 2″, либо с несколькими подложками меньшего размера. Вакуумная камера из нержавеющей стали с электрополированной поверхностью оснащена фронтальной дверью, которая обеспечивает удобный доступ и значительно упрощает процесс замены подложки и мишени. Камера снабжена несколькими портами: окна наблюдения за мишенью и подложкой, а также порты для встраиваемого диагностического оборудования. Легко заменяемые ИК-лампы обеспечивают нагрев до 950°C в кислороде при давлении до 400 Торр с использованием термической пасты. Нагреватель покрыт медными щитами с водяным охлаждением, которые минимизируют нагрев стенок камеры. Вакуумная система оснащена ручными клапанами и всеми необходимыми датчиками давления. Система поставляется вместе с ноутбуком для управления всеми функциями установки Nano PLD, а также эксимерным лазером.
Наименование | Страна производства | Условия использования | Расположение |
---|---|---|---|
Вакуумная напылительная установка MagSput-DC-RF (Torr Instruments) | США | Аренда, Заказ исследования | Москва |
Установка атмосферно-вакуумного фракционирования 24-100 (B/R) | США | Аренда, Заказ исследования | Москва |
Компрессорная установка CD-9 | Германия | Аренда, Заказ исследования | Красноярск |
Высоковакуумная безмасляная система откачки | РФ | Аренда, Заказ исследования | Новосибирск |
Высоковакуумная установка SPECS Surface (Nano Analysis GmbH) | Германия | Аренда, Заказ исследования | Казань |