Печь для проведения процессов в вакууме и в среде инертного газа RTP-100 (UniTemp)
14 сентября 2018
331
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Курская область, Курск |
| Страна производства | Германия |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Предназначена для проведения процессов в вакууме и в среде инертного газа. Данная модель позволяет поместить пластины диаметром до 100 мм. Конструкция и программное обеспечение печи позволяет точный контроль над процессами, производить быстрый нагрев и охлаждение. Компактная настольная конструкция с фронтальной загрузкой позволяет использовать печь в следующих областях: Различные полупроводниковые процессы; Изготовление прототипов; Контроль качества; Отжиг; Скоростные термические процессы; Легирование SiAu, SiAl, SiMo; Low-k диэлектрики (с низкой диэлектрической проницаемостью); Отжиг после имплантации; и др.