Растровый электронный микроскоп Quanta 200 3D (FEI Company)
14 сентября 2018
664
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | США |
| Год производства | 2011 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 10 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначен для измерения линейных размеров нанообъектов, элементного состава поверхности и спектров катодолюминесценции. Возможность измерения в высоком (10-5 Торр) и низком (до 1 Торр, для измерения диэлектрических образцов) вакууме. Регистрация истинно-вторичных и упруго-отраженных электронов.Диапазон ускоряющих напряжений 100 В – 30 кВ. Эффективный диаметр электронного зонда, согласно ГОСТ Р 8.636-2007: 30 нм. Приставка для изучения катодолюминесценции (Gatan) в диапазоне длин волн от 300 нм до 1000 нм при температуре образца от 80 К. Приставка для рентгеновского микроанализа (EDAX): энергодисперсионный и волновой спектрометры. Приставка для исследования дифракции обратно-рассеянных электронов.