Установка прецизионного ионного утонения 695 PIPS II (Gatan)
14 сентября 2018
592
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Татарстан, Казань |
| Страна производства | Германия |
| Год производства | 2011 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Ионное утонение осуществляется сфокусированными пучками ионов, генерируемых двумя ионными пушками типа Пеннинга. Ионные пушки имеют независимый наклон (опционально – с моторизованным приводом) и позволяют точно выбрать область и желаемый угол травления.