Сканирующая зондовая лаборатория NTEGRA Solaris (НТ-МДТ)

Позволяет изучать оптические свойства образца (его способность отражать, пропускать, рассеивать свет) с пространственным разрешением в несколько десятков нанометров. В отличие от обычного оптического микроскопа, разрешение которого ограничено пределом дифракции (около 170 нм для синего света при соблюдении условия конфокальности), разрешение СБОМ определяется лишь размером апертуры оптического зонда — отверстия в металлическом покрытии на острие оптоволокна, по которому свет от лазера поступает к образцу. В сменное основание системы встроен держатель объектива с 100 мкм Z-сканером, большая механическая жесткость конструкции позволяет использовать иммерсионные высокоапертурные объективы.