Система жидкостного травления MOT μChem (M-O-T Mikro und Oberflächentechnik)
14 сентября 2018
505
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Германия |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 500 тыс. до 1 млн. руб. |
Описание
Система жидкостного травления μChem обеспечивает выполнение всех процессов жидкостной химической обработки в технологиях производства МЭМС, полупроводников, солнечных батарей, оптики и других. Гибкость настроек и конфигурации делает устройство μChem идеальным решением как для промышленного использования, так и для нужд R&D.
Основные возможности:
Работа с PIR, PHO, KOH, HF, SC1/2
Очистка пластин: ультразвуковая, мегазвуковая ванна
Промывка пластин: стоп-ванна, ванна быстрого отмыва
Сушка пластин: центробежная отмывка и сушка пластин, сушки в изопропиловом спирте.
Контроль параметров химии (состав, рH, температура)
Различные варианты исполнения: ручные и автоматические системы
Ламинарный вытяжной шкаф или настольные системы
Постановка и сдача процесса под задание заказчика
Основные возможности:
Работа с PIR, PHO, KOH, HF, SC1/2
Очистка пластин: ультразвуковая, мегазвуковая ванна
Промывка пластин: стоп-ванна, ванна быстрого отмыва
Сушка пластин: центробежная отмывка и сушка пластин, сушки в изопропиловом спирте.
Контроль параметров химии (состав, рH, температура)
Различные варианты исполнения: ручные и автоматические системы
Ламинарный вытяжной шкаф или настольные системы
Постановка и сдача процесса под задание заказчика