Установка для спрей-обработки в кислоте RamOS SAT® (Ramgraber)

14 сентября 2018
458
Классификация оборудования
Страна, регион, город Российская Федерация, Санкт-Петербург
Страна производства Германия
Предоставляемое количество 1
Условия использования
Продажа
Стоимостная группа от 1 до 10 млн. руб.

Описание

Предназначена для FEOL и BEOL очистки, травления металлов Al, AlSi, AlSiCu, Cu и т.д., удаления резиста и полимера, проявления. Материал исполнения - перфторалкокси (PFA) Стандартные кассеты для полупроводниковых пластин, диаметром от 2” до 8”. Сменные держатели кассет (с низким или защитным профилями) в одном роторе. Ротор со скоростью вращения 1-1800 об/мин до 1-25 сбалансированной загрузки пластины Система трубопроводов из нержавеющей стали и перфторалкокси (PFA) Подключение для подачи: рабочих веществ, горячей/холодной ДИ воды (маленький и большой потоки), горячего/комнатной температуры азота, озона.
Найти аналог
Вам может быть интересно
Наименование Страна производства Условия использования Расположение
Реакционная емкость для процессорного аппарата на 100л/1 (Simax) Чехия Аренда, Заказ исследования Москва
Оборудование С7 XR для внутрисосудистой визуализации высокого разрешения США Аренда, Заказ исследования Белгород
Автоматизированная система высокого давления для синтеза наноматериалов Parr 4592 (Parr Instrument Company) США Аренда, Заказ исследования Москва
Комплект научного оборудования для проведения экспериментов по созданию тонкопленочных твердооксидных топливных элементов США Аренда, Заказ исследования Томск
Стенд для исследования топливных ячеек и батарей твердооксидных топливных элементов РФ Аренда, Заказ исследования Томск
биореактор для культивирования микроорганизмов В 30 РФ Аренда, Заказ исследования Екатеринбург
Многоразовая система нагрева для операции ПКД на аппарате высокого давления РФ Аренда, Заказ исследования Москва
Лабораторный комплекс для отработки технологии синтеза ультрадисперсных углеродных структур и их модификации РФ Аренда, Заказ исследования Москва
Комплекс вспомогательного оборудования для синтеза дисперсных элементов электрохимических устройств на основе герметичного бокса с системой газоочистки внутреннего объема и опциями электроспиннинга, ультразвукового диспергирования, измельчения и рассева РФ Аренда, Заказ исследования Москва
Прибор для изучения хемосорбции AutoChem 2950 HP США Аренда, Заказ исследования Москва