Установка для спрей-обработки в кислоте RamOS SAT® (Ramgraber)
14 сентября 2018
458
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Санкт-Петербург |
| Страна производства | Германия |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Предназначена для FEOL и BEOL очистки, травления металлов Al, AlSi, AlSiCu, Cu и т.д., удаления резиста и полимера, проявления. Материал исполнения - перфторалкокси (PFA) Стандартные кассеты для полупроводниковых пластин, диаметром от 2” до 8”. Сменные держатели кассет (с низким или защитным профилями) в одном роторе. Ротор со скоростью вращения 1-1800 об/мин до 1-25 сбалансированной загрузки пластины Система трубопроводов из нержавеющей стали и перфторалкокси (PFA) Подключение для подачи: рабочих веществ, горячей/холодной ДИ воды (маленький и большой потоки), горячего/комнатной температуры азота, озона.
