Малогабаритная система плазмохимического травления PlasmaPro NGP 80 (Oxford Instruments)
14 сентября 2018
561
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Санкт-Петербург |
| Страна производства | Великобритания |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Система обеспечивает плазмохимическое травление, плазмохимическое осаждение, реактивное ионное травление, плазмохимическое травление с источником индуктивно-связанной плазмы. Современная малогабаритная система с непосредственной загрузкой подложек в рабочую камеру представляет собой гибкое и недорогое решение для проведения исследовательских работ и организации мелкосерийного производства.