Система плазмохимического осаждения и травления PlasmaPro 800 plus (Oxford Instruments)
14 сентября 2018
480
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Санкт-Петербург |
| Страна производства | Великобритания |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Система обеспечивает: плазмохимическое осаждение, реактивное ионное травление, плазмохимическое травление. Предназначена для организации мелкосерийного и серийного производства ИМС. Система оснащается столиком-подложкодержателем диаметром 460 мм, на котором могут быть размещены одна или несколько подложек диаметром от 50 мм до 300 мм.