Система плазмохимического осаждения PlasmaPro 100 (Oxford Instruments)
14 сентября 2018
505
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Санкт-Петербург |
| Страна производства | Великобритания |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Предназначена для организации исследовательских работ, мелкосерийного и серийного производства ИМС. Подача подложки или карьера в камеру осуществляется через вакуумный шлюз с ручной загрузкой. Вакуумный шлюз может располагаться в габарите рамы установки или быть вынесен «сквозь стену» в помещение чистой комнаты. Последний вариант исполнения существенно экономит пространство чистой комнаты и снижает затраты на ее эксплуатацию.