Система плазмохимического осаждения и реактивно-ионного травления PlasmaPro NGP 1000 (Oxford Instruments)
14 сентября 2018
455
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Санкт-Петербург |
| Страна производства | Великобритания |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Предназначен для работы в производственных условиях. Рекордный размер электрода (490 мм) обеспечивает как обработку перспективных подложек стандарта 450 мм, так и одновременную работу с большим количеством подложек меньшего диаметра. Подача подложки или карьера в камеру осуществляется через вакуумный шлюз с ручной загрузкой. Основной модуль установки PlasmaPro NGP 1000 полностью совместим по стандарту MESC. Модули PlasmaPro NGP 1000 могут комбинироваться в кластерные системы для увеличения производительности или выполнения последовательных технологических операций травления и осаждения.