Универсальная сверхвысоковакуумная система PULSE XPS (Sigma Surface Science)
14 сентября 2018
501
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Санкт-Петербург |
| Страна производства | США |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Предназначена для анализа тонких пленок. Система рассчитана на анализ поверхности методами XPS, UPS, ISS (LEIS), AES и Depth Profiling. Благодаря гибкой модульной конструкции функционал системы может быть легко расширен. Уровень вакуумной течи мнее 5х10-11 мбар*л/с. Базовое давление лучше 5х10-9 м/раб во время откачки после отжига системы и при использовании чистого напуска атмосферы с продувкой сухим азотом.