| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Швейцария |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Центрифуги SM-200 являются оптимальным выбором для процессов полуавтоматического нанесения тонких слоев. Они используются для подложек с очень низкими поверхностными структурами или без них. Все коммерческие фоторезисты и покрывающие материалы наносятся однородно и равномерно на поверхность полупроводниковых пластин размером до 200 мм (8 дюймов) или подложки 150х150 мм.
Основные возможности:
Ручная загрузка подложек.
Обрабатывает пластины до 200 мм (8") или квадратные подложки до 150х150 мм (6х6").
Фиксация подложки вакумом с блокировкой мотора при потере вакуума.
Легкая и быстрая замена держателей без специальных инструментов.
Блок для процессов сделан модульным, что позволяет легко проводить очистку.
Автоматическая подающая система с дозирующей помпой для плотностей до 800 сантипуаз (опционально до 50 000 сантипуаз).
Автоматическое распознавание размера держателя с автоматическим ограничением скорости вращения.
Сенсорный дисплей 5,7" с логическим контролем.
Контроллер процесса с возможностью запоминания до 10 рецептов.
Один рецепт может программироваться до 24 пар значений скорость/время.
Безщеточный сервомотор переменного тока с преобразователем до 12 000 об/мин
Ускорение с держателем 4-5" от 1 до 6 000 об/мин (по запросу до 10 000).
Точность вращения мотора /-1 об/мин.
Основные возможности:
Ручная загрузка подложек.
Обрабатывает пластины до 200 мм (8") или квадратные подложки до 150х150 мм (6х6").
Фиксация подложки вакумом с блокировкой мотора при потере вакуума.
Легкая и быстрая замена держателей без специальных инструментов.
Блок для процессов сделан модульным, что позволяет легко проводить очистку.
Автоматическая подающая система с дозирующей помпой для плотностей до 800 сантипуаз (опционально до 50 000 сантипуаз).
Автоматическое распознавание размера держателя с автоматическим ограничением скорости вращения.
Сенсорный дисплей 5,7" с логическим контролем.
Контроллер процесса с возможностью запоминания до 10 рецептов.
Один рецепт может программироваться до 24 пар значений скорость/время.
Безщеточный сервомотор переменного тока с преобразователем до 12 000 об/мин
Ускорение с держателем 4-5" от 1 до 6 000 об/мин (по запросу до 10 000).
Точность вращения мотора /-1 об/мин.