Автоматическая система фотолитографии ACS200 Gen3 (SUSS MicroTec)

14 сентября 2018
499
Классификация оборудования
Страна, регион, город Российская Федерация, Москва
Страна производства Германия
Предоставляемое количество 1
Условия использования
Продажа
Стоимостная группа от 1 до 10 млн. руб.

Описание

Обеспечивает полный цикл процессов при литографии, включая нанесение резистов, проявление, спрей-нанесение, отмыв, задубливание, ГМДС-обработку и охлаждение пластин. Идеальна для работы со степпером и автоматической установкой совмещения.


Основные возможности:
Автодетектирование размера пластин.
Наращиваемая кластерная архитектура.
Превосходная работа с толстыми резистами.
Купол GYRSET для лучшей равномерности нанесения.
Нанесение без "бахромы" на квадратных и прямоугольных подложках.
Точная система удаления валика у края.
Нанесение резистов струей и спреем для достижения превосходного покрытия высокой топографии.
Технология параллельных потоков для оптимального использования установки.
Найти аналог
Вам может быть интересно
Наименование Страна производства Условия использования Расположение
Система автоматического вращения США Аренда, Заказ исследования Хабаровск
Стереолитографическая система Viper si2 SLA Германия Аренда, Заказ исследования Москва
Компактная система сборки микрокомпонентов AL300 (Ficontec) Германия Продажа Москва
Автоматизированная система сборки и разборки линеек лазерных диодов SL2000 (Ficontec) Германия Продажа Москва
Система термообработки пластин EVG 105 Австрия Аренда, Заказ исследования Санкт-Петербург
Система пожаротушения переносная ГИРС-400 РФ Аренда, Заказ исследования Ростов-на-Дону
Система очистки пластин A-CS-100A (Accretech) Япония Продажа Курск
Система ВЭЖХ Turbo 200 LS США Аренда, Заказ исследования Ханты-Мансийск
Система искрового плазменного спекания Spark Plasma Sintering 10 tons (Thermal Technology) США Аренда, Заказ исследования Белгород
Система искрового плазменного спекания SPS 25-10 (Thermal Technology) США Аренда, Заказ исследования Белгород