Кластерная система CS-200-4 sirius (Sawatec)

Кластерные системы SAWATEC являются идеальным решением для полностью автоматизированных процессов с кассетной загрузкой и выгрузкой. Основные возможности: Высокая производительность и низкие эксплуатационные расходы, быстрая амортизация. Надежные технологические инструменты, простота обслуживания и незначительный простой. Подложки размером до 200 мм (8”). Гибкие конфигурации технологического модуля на базе операционной системы Linux. Простота управления с 15-дюймовым сенсорным экраном. Автоматическое определение полупроводниковой пластины в кассете. Компактная конструкция и минимальные требования по размещению. Легкая чистка.