Система оптического контроля и анализа пластины Axiospect 301 (HSEB)

300-мм система оптического контроля и анализа фронтальной и тыльной сторон пластины. Идеальна для контроля литографии и OQA. Основные возможности: Новая версия хорошо зарекомендовавшей себя и надежной системы Axiospect 300. Доступны конфигурации системы для работы только с фронтальной или с фронтальной/тыльной сторонами. Встроенный модуль переворачивания пластин обеспечивает высокую производительность. Возможность работы с пластинами в вакуумном захвате или в захвате по бокам. Вакуумный держатель для пластин сочетает в себе доступную цену с высокой производительностью и универсальностью. Манипуляции с пластинами, в том числе предварительное совмещение, производятся в захвате по бокам, чтобы минимизировать постороннее воздействие на тыльную сторону устройства. Функция сортировки с возможностью переворачивания на тыльную сторону. Новейший оптический микроскоп фирмы Carl Zeiss поддерживает все стандартные методы контрастирования, в том числе конфокальную и ультрафиолетовую микроскопию. Макро-осмотр с равномерным полем освещенности и возможностью осмотра образца в темном поле. Обнаруженные дефекты документируются. Доступны различные виды измерений, в том числе контроль отклонения от заданных параметров и измерение толщины пленки. Единая программная платформа для всех систем и модификаций.