| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Германия |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
150/200-мм система для оптического контроля и анализа фронтальной и тыльной сторон пластины. Наиболее подходит для использования с технологиями МЭМС. Основные возможности: Усовершенствованный инструмент для оптического осмотра и анализа пластин 150/200 мм с двумя кассетами. Подходит для стандартных и других механических интерфейсов. Доступны конфигурации системы для работы только с фронтальной или с фронтальной/тыльной сторонами. Встроенный модуль переворачивания пластин обеспечивает высокую производительность. Возможность работы с пластинами в вакуумном захвате или в захвате по бокам. Вакуумный держатель для пластин сочетает в себе доступную цену с высокой производительностью и универсальностью. Манипуляции с пластинами, в том числе предварительное совмещение, производятся в захвате по бокам, чтобы минимизировать постороннее воздействие на тыльную сторону устройства. Функция сортировки с возможностью переворачивания на тыльную сторону. Новейший оптический микроскоп фирмы Carl Zeiss поддерживает все стандартные методы контрастирования, в том числе конфокальную и ультрафиолетовую микроскопию. Макро-осмотр с равномерным полем освещенности и возможностью осмотра пластины в темном поле. Обнаруженные дефекты документируются. Доступны различные виды измерений, в том числе контроль отклонения от заданных параметров и измерение толщины пленки. Единая программная платформа для всех систем и модификаций.