| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Германия |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Автоматическая установка совмещения и экспонирования для массового объема выпуска. Обработка пластин до 200 мм. Производительность до 150 пластин в час. Усовершенствованная система транспорта позволяет достичь рекордной производительности даже на 200-мм подложках.
Основные возможности:
Прямое совмещение: точность 0.5 микрон (3сигма) с улучшенным программным обеспечением распознавания образов.
Компактные габаритные размеры 2.12м2.
Автоматическая работа с 2 кассетами (опционально 4 кассеты).
SECSII/GEM функциональные возможности.
Максимальная пропускная способность более 100 подложек в час.
Разрешающая способность: менее 3 микрон (на зазоре), 1 микрон (при контакте), субмикронное (при вакуумном контакте).
Основные возможности:
Прямое совмещение: точность 0.5 микрон (3сигма) с улучшенным программным обеспечением распознавания образов.
Компактные габаритные размеры 2.12м2.
Автоматическая работа с 2 кассетами (опционально 4 кассеты).
SECSII/GEM функциональные возможности.
Максимальная пропускная способность более 100 подложек в час.
Разрешающая способность: менее 3 микрон (на зазоре), 1 микрон (при контакте), субмикронное (при вакуумном контакте).