| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Германия |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Серия MA/BA 6/8 Gen4 является новейшим поколением полуавтоматических систем совмещения и экспонирования. Основные возможности: Низкие эксплуатационные расходы. Высокая степень автоматизации. Совершенные технологии совмещения с верхней, нижней стороны, а также совмещения с ИК-подсветкой. Высокоточный блок микроскопа. Специальная оптика для достижения максимальной универсальности.
Возможность работы с подложками различных форм и размеров. Бережная обработка хрупких, вогнутых или неровных пластин. Совершенный эргономичный дизайн.
Высокоточное совмещение полупроводниковых пластин. Прямое сращивание пластин непосредственно в установке (fusion-бондинг). Импринт-литография по полному полю (SMILE).
Возможность работы с подложками различных форм и размеров. Бережная обработка хрупких, вогнутых или неровных пластин. Совершенный эргономичный дизайн.
Высокоточное совмещение полупроводниковых пластин. Прямое сращивание пластин непосредственно в установке (fusion-бондинг). Импринт-литография по полному полю (SMILE).
