Купить Автоматическая установка совмещения и экспонирования для серийного производства MA300 Gen2 (SUSS) в г.Москва

Классификация оборудования	Специальные технологические установки
Страна, регион, город	Российская Федерация, Москва
Страна производства	Германия
Предоставляемое количество	1
Условия использования	Продажа
Стоимостная группа	от 1 до 10 млн. руб.

Описание

Высокоавтоматизированная установка совмещения и экспонирования для полупроводниковых пластин 200 мм и 300 мм. Она предназначена для формирования столбиковых выводов и корпусирования на уровне пластины, но может использоваться и для других технологий, в которых требуется экспонирование структур в диапазоне от 5 до 100 микрон. Основные возможности: Макс. производительность > 100 пластин в час. Пластины 300 мм и 200 мм. Интенсивность засветки 90 мВт/см2. Отличные результаты формирования рисунка в толстом слое резиста. 100% гибкость экспонирования края (простота функции EBR). Разрешение 5 микрон. Точность совмещения 1 микрон. Держатель ThermAlign для компенсации сбегания-разбегания. Автоматическая калибровка интенсивности. До 4 загрузочных портов для FOUP или открытой кассеты. Автоматическое перемещение шаблона (14" и 9"). Стеллаж для шаблонов (до 10). ID-считыватель пластин/кассет. Графический интерфейс пользователя Windows-NT SECS II / GEM.

Найти аналог

Вам может быть интересно

Наименование	Страна производства	Условия использования	Расположение
Комплект контрольно-измерительного оборудования для аппаратно-программного комплекса (АПК)	Дания	Аренда, Заказ исследования	Ростов-на-Дону
Камера для моделирования естественного и искусственного освещения	РФ	Аренда, Заказ исследования	Москва
Машина для продольного полирования в комплекте	Великобритания	Аренда, Заказ исследования	Москва
Комплекс для определения защитных свойств смазочных материалов в динамических условиях	Германия	Аренда, Заказ исследования	Москва
Компьютеное оборудование для оснащения центра проектно-конструкторских технологий авиационной техники	РФ	Аренда, Заказ исследования	Москва
СТЕНД ВКВД оборудование для высокочастотных динамических испытаний, модель	РФ	Аренда, Заказ исследования	Санкт-Петербург
Прибор для исследования свойств клейковины Falling Number FN-1800	Швеция	Аренда, Заказ исследования	Москва
Комплект оборудования для подготовки поверхности и порошковой окраски оболочек электронных систем управления	РФ	Аренда, Заказ исследования	Челябинск
Технологический комплекс для проведения иммуноферментного анализа и биотехнологических разработок	США	Аренда, Заказ исследования	Тюмень
Технологический комплекс для лиофилизации биологических препаратов	США	Аренда, Заказ исследования	Тюмень